从事于MEMS与纳米技术，精密加工技术等方面应用研究，分别主持和以主要完成人身份承担国家自然科学基金、973项目、863重点项目、军工项目、省市科技攻关项目、教育部新世纪优秀人才计划项目、西安交通大学基本科研业务费前沿技术项目、香港ITC项目等。以通讯或第一作者已发表文章110余篇，其中EI收录70篇，SCI收录40篇。申请及授权专利发明专利34项，软件著作权2项。2005年获教育部科技进步奖1项。