长期从事微纳制造、先进传感技术与精密超精密加工技术与装备等方面的研究，在高端MEMS传感技术及系列器件、数字化精密测量与超精密加工技术与装备的工程科技领域做出了突出贡献，在微纳米技术相关基础理论和生物检测技术及仪器等方面开展了创新性研究。

获国家技术发明二等奖2项、国家科技进步二等奖1项，其他省部级奖励9项，并获全国首届创新争先奖、何梁何利科学与技术进步奖、全国优秀骨干教师、全国百篇优秀博士学位论文指导教师、西安交通大学学位与研究生教育工作突出贡献奖等。主编论著2本，发表论文400余篇；授权中国发明专利100余项、美国发明专利1项、获中国专利优秀奖1项、软件著作权15项。担任国际重要学术会议的大会主席20余次，国际会议Plenary和Keynote等特邀报告30余次。